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SemDex AR13

SemDex AR13

SemDex AR13 with 3 cassettes for inspection of sapphire wafers

SemDex AR13

Vollautomatisches, sehr kompaktes LED Wafer Inspektionssystem

Das vollautomatische optische Metrologie System SemDex AR13 wurde zur Inspektion von 2” bis 8” LED Wafer entwickelt. Das System kann Ebenheiten (Bow und Warp) von Wafern, Substratschichtdicken, TTV, Beschichtungsstärken und Rauheiten von Oberflächen auf Wunsch zeitgleich erfassen. Ein großes Spektrum an einzigartigen Sensoren kann unterschiedlich kombiniert werden um unterschiedliche Anwendungen auszuführen.

Die Messeinheit beinhaltet ein Wafersortierprogramm mit 3 offenen Kassettenstationen (2”, 4”, 6”, 8”) sowie eine Wafer-Ausrichtestation und eine Reinraum-Waferrobotertechnik. 
Die Kontroll-Software von Automatisierungsanlagen korrespondiert mit SECSII/GEM/HSMS und Barcode sowie der OCR Erkennung. Die Durchsatzrate beträgt 100 Wafer pro Stunde basierend auf 8 Seiten-Messungen eines 6" Wafers.

Die intuitiv zu bedienende Software WaferSpect dient zur Messplanung über Rezepte, Durchführung der Messaufgaben, speichern der relevanten Messdaten und deren Weiterverarbeitung, Präsentation und Export

Vorteile:

  • Hohe Flexibilität: 4”, 6”, 8”, 12” Wafer
  • Gleichzeitige Messungen in nur einem Schritt möglich
  • Sehr hohe Durchsatzrate - bis zu 100 Wafer in der Stunde
  • Rotierende Messplatte für hoch präzise und Hochgeschwindigkeitsmessungen

 Optional:

  • Vacuum chuck
  • Ausgestattet mit hochauflösender HD CMOS Kamera und Mustererkennungssoftware
  • SECS/GEM 300 Software Paket