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Sehr schnelle sequenzielle Abtastung bei sehr hoher Präzision

Technologie

Es werden grundsätzlich zwei unterschiedliche Sensor-Typen eingesetzt:

1. Punkt-Sensor zur sequenziellen Abtastung von

  • Schichten/ Beschichtungen bei bewegtem Objekt (während laufender Produktion oder mittels x/y Stage im Offline Betrieb) oder
  • von 3D Innenraum-Topographien (z.B. Zylinder) bei rotierender Mess-Nadel

2. Flächen-Sensor zur flächigen Abtastung von 3D-Topographien bei ruhendem Objekt. Größere Flächen oder mehrere Bereiche können durch Bewegung des Objektes realisiert werden

Bei den Punkt-Sensoren der Reihe StraDex f, t wird sehr schnell die optisch interferometrisch kodierte Tiefen-Information mittel eigens patentiertem Verfahren so dekodiert, dass im sub-ms Takt Daten aufgenommen werden können.

Ebenfalls punktuell werden die Innenräume mit den Sensoren der Reihe RayDex cr, hr abgetastet. Durch die Rotation und punktuellen Abstandsinformationen werden alle Winkel abgetastet, so dass mit zusätzlicher Achsenverschiebung ein kompletter 3D Datensatz entsteht.

Bei dem Flächen-Sensor der Reihe StraDex a wird eine kleine Fläche (typisch < 1 mm2) simultan mit höchster lateraler Auflösung ausgeleuchtet. Die Höhen-Information wird dann durch schnelles Scanning des integrierten Objektivs erreicht. Durch extrem schnelle integrierte Elektronik und darauf optimierten Datenalgorithmus werden komplette 3D Daten in 1 – 3 Sekunden (je nach Feldgröße) verfügbar.