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SemDex A32

SemDex A32

Produktionsüberwachung im Reinraum

Dünnfilm und Beschichtung mit sub-µm Genauigkeit

Um die komplexen Strukturen auf Halbleitern zu realisieren und die Schichtaufbauten mit immer größerer Funktionalität auf dichtestem Raum unterzubringen, werden die Beschichtungen zunehmend dünner. 

Dünnfilm und Beschichtung mit sub-µm Genauigkeit

Dabei müssen die extrem dünnen Schichten, welche in der Regel weniger als 1 µm betragen, homogen und in den exakten Dicken aufgebracht werden. Die hohe laterale Auflösung des StraDex t Sensors integriert in ein SemDex Wafer Inspektionssystem ermöglicht überdies Anwendungen auf engstem Bereich, so z.B. bei der MEMS Fertigung.

Messsysteme für:

Dünnfilm und Beschichtung